劃痕是指在工件被加工表面上隨機(jī)分布的長短不一的線狀缺損，是工件在加工過程中由于磨粒壓入工件過深產(chǎn)生的表面缺陷，是影響工件表面質(zhì)量的主要因素之一。在超精密研磨加工過程中，如果出現(xiàn)劃痕，特別是在加工的后期產(chǎn)生了較大的劃痕，將嚴(yán)重影響加工的效率。例如在精研或拋光等工序中，若發(fā)現(xiàn)了較大劃痕，輕則浪費(fèi)了前面加工工序，同時在去除前道工序產(chǎn)生劃痕時要耗費(fèi)很多額外的加工時間，極大的影響加工效率，重則導(dǎo)致工件的報廢，降低產(chǎn)品合格率，造成不必要的浪費(fèi)，增加原材料和加工成本。因此，劃痕是制約超精密研磨拋光加工效率和表面質(zhì)量提高的重要瓶頸，研究劃痕產(chǎn)生以及避免有著重要的意義和價值。

劃痕的產(chǎn)生通常有兩種情況：一種是隨機(jī)的、不可預(yù)知、不可再現(xiàn)的劃痕，這類劃痕大多數(shù)取決于研磨加工時，磨料中雜質(zhì)的數(shù)量、混入的灰塵、研磨磨屑以及磨具上大顆磨粒等，特點(diǎn)是劃痕深、數(shù)量少，具有偶然性、隨機(jī)性。另外一種是由于研磨加工工藝參數(shù)選用不合理，或者磨具表面磨粒分布不均勻、磨粒大小不等造成的，這類劃痕在工件表面形成的數(shù)量較多，深度較淺，并且其趨勢與工件和磨具間相對運(yùn)動軌跡吻合。

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